Kā mēs visi zinām, pasaulē ir tikai viens ražotājs, kas var ražot EUV litogrāfiju, tas ir Nīderlandes ASML.
Un iemesls, kāpēc pasaulē vienīgais, tas ir tāpēc, ka ASML būs daudzi galvenie ražotāji, kas apvienoti kopā, piemēram, Vācijas optikas uzņēmums Zeiss (Zeiss), pēc tam ASV Cymer un pēc tam vācu Tom Fast Group (TRUMPF). ) un tā tālāk.
ASML ir piesaistījis šos ražotājus saviem ratiem, investējot, iegādājoties, iegūstot akcijas, izveidojot pētniecības centrus un tā tālāk, un šie ražotāji, iespējams, vienīgie ražotāji pasaulē, kas var ražot šos produktus, tāpēc galu galā tikai ASML spēj ražot EUV litogrāfiju. pasaulē.
Tomēr nesen ASML galvenā piegādes ķēde devās uz Šeņdženu, Ķīnu, lai būvētu rūpnīcu, un tās Šeņdžeņas meitasuzņēmums apmetās Baoanas Ķīnas un Vācijas (Eiropas) industriālo demonstrāciju parkā.
Šis ražotājs ir Vācijas Tom Fast Group (TRUMPF), tas ir ASML EUV litogrāfija, pasaulē vienīgais lāzeravota piegādātājs.
Cik svarīgi ir TRUMPF produkti EUV litogrāfijā? Vispirms ļaujiet man izskaidrot EUV litogrāfijas principu, jūs sapratīsit.
Vienkāršoti sakot, EUV litogrāfijas princips ir vērsts uz trim galvenajām sistēmām: EUV UV gaismas avotu sistēmu, objektīvu sistēmu un galda sistēmu.
Īpašais process ir izmantot lāzeru, lai ierosinātu 13,5 nm ekstrēmas ultravioletās gaismas viļņa garumu, un pēc tam pēc korekcijas veidot kontrolētu gaismas staru kūli, un pēc tam šis gaismas stars tiek projicēts uz fotomaskas galda un pēc tam projicēts caur objektīvu. spogulis pie ekspozīcijas tabulas un visbeidzot iegravēja ķēdi uz silīcija plāksnītes, kas pārklāta ar fotorezistu.
Viena no EUV UV gaismas avotu sistēmām tiek iegūta, bombardējot alvas (Sn) metāla pilienu ar 30 kW jaudas CO2 lāzeru, iztvaicējot to plazmā un visbeidzot iegūstot 13,5 nm viļņa garuma EUV gaismu.
Šo 30 kW CO2 lāzeru nodrošina TRUMPF, vienīgais šāda veida lāzers pasaulē.
Nenovērtējiet par zemu šo CO2 lāzeru, tajā ir 457 329 daļas, kabeļa garums sistēmā ir līdz 7 322 metriem, bet svars ir 17 090 kg, kas ir viena no svarīgākajām EUV litogrāfijas galvenajām sastāvdaļām.
Tagad TRUMPF skrēja uz Ķīnu, lai izveidotu rūpnīcu, nodoms ir skaidrs, tas ir, optimistisks par Ķīnas lāzeru tirgu un vēl vairāk ilgtermiņa skatījums, optimistisks par Ķīnas litogrāfijas tirgu, nākotnē var sadarboties ar Ķīnu, lai izveidotu EUV litogrāfiju. .
Faktiski jau ir vairāk nekā viena ASML piegādes ķēde, kas darbojas uz Ķīnu, lai būvētu rūpnīcu, pirms ir KMWE un citi ražotāji, arī uz Ķīnu, lai būvētu rūpnīcu.
Saskaņā ar pašreizējo tendenci, mēs varam optimistiski sagaidīt, ka tas var nebūt ilgs laiks, pirms Ķīnas litogrāfijas tehnoloģija būs liels solis uz priekšu, un pat EUV litogrāfijas produkcijas apjoms var arī gaidīt, vai jūs domājat?
